Computational Lithography (Bog, Hardback, Engelsk) af X Ma

Computational Lithography

(Bog, Hardback, Engelsk)
Forfattere: Xu Ma, Gonzalo R. Arce

Bemærk: Kan ikke leveres før jul.

Når du handler på WilliamDam.dk, betaler du den pris du ser.

  • Ingen gebyrer
  • Ingen abonnementer
  • Ingen bindingsperioder

Beskrivelse

This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.

Læsernes anmeldelser (0)

Alle detaljer

Forlag John Wiley & Sons Inc
Forfattere Xu Ma, Gonzalo R. Arce
Type Bog
Format Hardback
Sprog Engelsk
Udgivelsesdato 06-08-2010
Første udgivelsesår 2010
Serie Wiley Series in Pure and Applied Optics
Originalsprog United States
Sideantal 256
Indbinding Hardback
Forlag John Wiley & Sons Inc
Sideoplysninger 256 pages
Mål 241 x 160 x 18
ISBN-13 / EAN-13 9780470596975