Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors (Bog, Paperback / softback, Engelsk) af Pilar Gonzalez Ruiz

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

(Bog, Paperback / softback, Engelsk)
Forfattere: Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw

Forlag: Springer

Bemærk: Kan ikke leveres før jul.

Når du handler på WilliamDam.dk, betaler du den pris du ser.

  • Ingen gebyrer
  • Ingen abonnementer
  • Ingen bindingsperioder

Beskrivelse

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.

Læsernes anmeldelser (0)

Alle detaljer

Forlag Springer
Forfattere Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw
Type Bog
Format Paperback / softback
Sprog Engelsk
Udgave Softcover reprint of the original 1st ed. 2014
Udgivelsesdato 08-08-2015
Første udgivelsesår 2015
Serie Springer Series in Advanced Microelectronics
Illustrationer 144 Illustrations, color; XVI, 199 p. 144 illus. in color.
Originalsprog Netherlands
Sideantal 199
Indbinding Paperback / softback
Forlag Springer
Sideoplysninger 199 pages, 144 Illustrations, color; XVI, 199 p. 144 illus. in color.
Mål 235 x 155
ISBN-13 / EAN-13 9789401781404