Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors (Bog, Hardback, Engelsk) af Pilar Gonzalez Ruiz
  1. Forside
  2. Bøger
  3. Engelske bøger
  4. Materialeprøvning
  5. Elektronik: kredse og komponenter
  6. Elektronisk udstyr og materialer
  7. Andre produktionsteknologier
  8. Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

(Bog, Hardback, Engelsk)
Forfattere: Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw
Forlag: Springer

Bemærk: Kan ikke leveres før jul.

Når du handler på WilliamDam.dk, betaler du den pris du ser.

  • Ingen gebyrer
  • Ingen abonnementer
  • Ingen bindingsperioder

Relaterede kategorier

Andre produktionsteknologier Elektronik: kredse og komponenter Elektronisk udstyr og materialer Materialeprøvning
  = Emner / kategorier
  = Sektioner / guides
  = Specialsider
  = Kampagner

Beskrivelse

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.

Læsernes anmeldelser (0)

Alle detaljer

Forlag Springer
Forfattere Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw
Type Bog
Format Hardback
Sprog Engelsk
Udgave 2014 ed.
Udgivelsesdato 30-07-2013
Første udgivelsesår 2013
Serie Springer Series in Advanced Microelectronics
Illustrationer 144 Illustrations, color; XVI, 199 p. 144 illus. in color.
Originalsprog Netherlands
Sideantal 199
Indbinding Hardback
Forlag Springer
Sideoplysninger 199 pages, 144 Illustrations, color; XVI, 199 p. 144 illus. in color.
Mål 235 x 155
ISBN-13 / EAN-13 9789400767980